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  • [行業新聞] 合金靶材的濺射原理

    合金靶材的濺射原理:對濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出來,並且最終沉積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。濺射鍍膜又分為很多種,總體看,與蒸發鍍膜的
    發布時間:2016-03-29   點擊次數:282

  • [技術中心] 合金靶材濺射靶材使用指南及注意事項

    一、濺射準備保持真空腔體尤其是濺射係統潔淨是非常重要的。任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會收集水氣及其他汙染物,直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧,成膜
    發布時間:2016-03-29   點擊次數:961

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