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濺射靶材的分類

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濺射靶材的分類

發布日期:2016-03-29 17:41 來源:http://www.fzminiao.com 點擊:

濺射靶材的分類

 

金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物

 

陶瓷濺射靶材 ,矽化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化矽陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),

 

砷化銦靶材(InAs)。

 

1. 金屬靶材:   

 

鎳靶、Ni、鈦靶、T濺射靶材i、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、铌靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁矽靶、AlSi

 

、矽靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、濺射靶材不鏽鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf

 

、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。   

 

2. 陶瓷靶材   

 

ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、濺射靶材氮化矽靶、碳化矽靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化矽靶、一氧化矽靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二铌靶、二

 

氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二铌靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化矽靶

 

,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化矽靶,铌酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。


相關標簽:合金靶材

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